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蓄热氧化装置简称RTO（Regenerative Thermal Oxidizer），根据待处理废气的性质、风量和烟气排放标准的不同可以分为二箱室、三箱室、多箱室（4~12箱室）和旋转式。根据处理有机废气中有机污染物的组成不同可由废气预处理段、废气蓄热氧化段（RTO本体）、富裕热量余热回收段（副产饱和蒸汽或过热蒸汽）、烟气再处理段等部分组成。

废气蓄热氧化段（RTO本体）是RTO系统的核心部分，主要由蓄热体放热（预热废气）、废气高温热氧化（760~1100℃）、蓄热体吸热（烟气放热）三个主要过程组成，有机废气经过蓄热室到氧化室的过程中进行预热，在氧化室760~1100℃的高温下发生氧化分解，净化后的烟气再通过另一侧蓄热室时释放热量，降低排放烟气的温度，因RTO蓄热体的放热和吸热过程属于直接换热，热效率比较高，一般在95%以上，使得出口处烟气温度略高于RTO入口温度，一般情况下升高温差不超过50℃，因此采用RTO技术处理有机废气节能效果显著、运行成本相对于其它高温氧化的工艺较为低廉。

另外，当处理的有机废气热值较高时，可以选择增设余热锅炉用于副产饱和蒸汽或过热蒸汽用于热量的回收，从而产生可观的经济效益。